간략한 소개
- 티타늄 타겟 재료는 고순도 티타늄 또는 티타늄 합금으로 만들어집니다.- 순도는 99.9%~99.9999%입니다. PVD(물리기상증착) 공정을 통해 생산되는 고순도 소재의 일종으로 스퍼터링 코팅 기술에 주로 사용됩니다.
- 티타늄 자체는 내열성과 강도가 뛰어난 전이금속이므로 티타늄으로 만든 타겟 소재가 고온 및 고압-환경에서 우수한 성능을 발휘합니다.
- 이러한 유형의 타겟 재료는 주로 반도체, 광학 코팅, 장식 코팅, 산업용{0}}부식 및 기타 분야에 사용되며 고급 제조의 핵심 기본 재료 중 하나입니다.-
재료 사양 및 속성
- 순도 사양:
99.9%(3N): 상대적으로 순도 요구 사항이 낮은 장식 코팅 및 도구 코팅과 같은 분야에서 일반적으로 사용됩니다.
99.99% 이상(4N): 이는 신에너지(예: 태양광 발전)와 같은 분야의 응용 분야에 대한 기준입니다.
99.995%(4N5): 반도체에 사용되는 주류 티타늄 타겟 재료의 일반적인 순도입니다.
99.999%(5N) 이상: 고급-반도체 장치 제조에 주로 사용됩니다.
99.9999% 이상(6N): 주로 16MB 이상의 용량을 갖춘 초대형 집적 회로(VLSI) 제조에 사용되며 최고 수준의 요구 사항을 나타냅니다.
- 티타늄 타겟재의 모양과 크기는 크게 두 가지로 분류됩니다. 또한 다양한 애플리케이션 환경의 요구 사항을 충족하기 위해 고객 요구 사항에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다.
원통형 타겟재
일반적인 직경 : 60mm, 65mm, 95mm, 100mm (장식 및 도구 산업에 주로 사용됨)
일반적인 길이: 30mm, 32mm, 40mm, 45mm
웨이퍼 코팅 공통사양 : Φ200mm(8인치 웨이퍼), Φ300mm(12인치 웨이퍼)
- 원통형 타겟재(회전 타겟)
이는 디스플레이 패널 및 광전지 분야에서 널리 사용되며 활용률이 높은 대면적 코팅의 주류 선택입니다. 크기는 다양하며 생산 라인 설계에 따라 맞춤화가 필요합니다.
- 재료 특성
높은 융점 및 낮은 밀도 요구 사항을 기반으로
균일성과 불순물 제어에 대한 요구 사항이 상대적으로 높음
응용 분야
반도체 산업: 티타늄 타겟 재료는 반도체 제조에서 전도성 층 또는 장벽 층 역할을 하는 티타늄 필름을 증착하는 데 사용되며 집적 회로 및 마이크로 전자 장치에 널리 적용됩니다.
광학 코팅: 티타늄 타겟은 무엇보다도 광학 렌즈, 디스플레이 화면, 태양광 패널 등에 적용되는 고반사율 또는 반사 방지 코팅을 생성하는 데 사용할 수 있습니다.
장식 코팅: 티타늄 기판은 스퍼터링 공정을 통해 다양한 색상으로 코팅할 수 있으며 시계, 보석, 홈 데코레이션 분야에 널리 사용됩니다.
의료 기기: 티타늄 소재를 사용하여 인공 관절, 치과 임플란트 등 의료 기기에 적용되는 생체 적합성 코팅을 제조하여 내구성과 생체 적합성을 향상시킵니다.
항공우주: 티타늄 소재는 고온 및 부식에 강한 코팅을 생산하는 데 사용되며 항공기 엔진 부품 및 우주선 표면 보호에 적용됩니다.
에너지 부문: 티타늄 타겟 소재는 리튬{0}}이온 배터리 및 연료전지에 사용되어 전극 소재를 제조함으로써 배터리의 성능과 수명을 향상시킵니다.
제품 디스플레이




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Baoji Yibaite New Materials Technology Co., Ltd.티타늄 제품의 최고의 제조업체이자 공급업체입니다. 우리는 전문적인 연구 개발 팀과 풍부한 생산 경험을 보유하고 있습니다. 우리는 GB/T 19001-2016/ISO9001:2015 인증서와 ISO 13485 인증서를 받았습니다.
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